氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

發(fā)布時間：2021-06-25　點擊量：1490

氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用半導(dǎo)體、電子元件用氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣計 MS-500

MS-500

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			分離式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直插式）
顯示方式			數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復(fù)性			在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍
測量點數(shù)			1-8
樣氣條件	壓力		10 -3～ 200 KPa（絕壓）
	流量		0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴散狀態(tài)的測量）
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0-100℃
	其他		不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			氣氛
錄音機輸出			僅傳輸輸出
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出			沒有任何
熱身時間			6分鐘內(nèi)
尺寸	MS-500（控制器）		92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分）
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分）
	傳感器單元	SD16NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，本體部分Φ40×51）
		SD25NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，本體部分Φ40×48）
		SD40NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，本體部分Φ40×49）
大量的	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（換能器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用的電源			24VDC ± 10%

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