用于硬涂層膜厚檢測設(shè)備-反射光譜膜厚計AFW-100W

[機理] 當(dāng)
樣品受到光照射時，它會根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時，強度增加，而當(dāng)光相移時，強度降低。反射計是一種通過分析該光譜來測量薄膜厚度的方法。

[優(yōu)點] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，無需接觸即可進(jìn)行測量。
- 與橢偏儀相比，便宜且易于使用。

將來也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。